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靶材系列

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钼靶材

钼在主要用作形成半导体中门电极(gate-electrode)的溅射材料。靶材密度高可以减少溅射过程中沉积层颗粒的形成几率;细晶粒靶材可以确保形成平整的沉积表面。

沈阳太普泰克钨钼科技有限公司可以为客户提供高密度、细晶钼靶材:

Description

Symbol

Purity

Density (g/cc)

Grain Size (micron)

Dimension (max/mm)

Molybdenum

Mo

3N5(99.95%)

10.19

<15

500*15

 

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